供应白光干涉仪设备光学测量表面三维形貌

深圳市中图仪器股份有限公司为您提供供应白光干涉仪设备光学测量表面三维形貌。中图仪器白光干涉仪设备supervieww1以白光干涉技术为原理，能够以优于纳米级的分辨率，测试各类表面并自动测量工件获取2d，3d表面粗糙度、轮廓等一百余项参数，广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、3c电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料及制造、汽车零部件、mems器件等超精密加工行业及航空航天、科研院所等领域中。



针对芯片封装测试流程的测量需求，supervieww1的x/y方向标准行程为140*100mm，满足减薄后晶圆表面大范围多区域的粗糙度自动化检测、镭射槽深宽尺寸、镀膜台阶测量。而supervieww1-pro 型号增大了测量范围，可覆盖8英寸及以下晶圆，定制版真空吸附盘，稳定固定wafer；气浮隔振+壳体分离式设计，隔离地面震动与噪声干扰。



部分参数
z向分辨率：0.1nm

横向分辨率(0.5λ/na)：100x~2.5x：0.5um~3.7um

粗糙度rms重复性：0.1nm

表面形貌重复性：0.1nm

台阶测量重复性：0.1% 1σ；准确度：0.75%



主要应用领域：

1、用于太阳能电池测量；

2、用于半导体晶圆测量；

3、用于镀膜玻璃的平整度（flatness)测量；

4、用于机械部件的计量；

5、用于塑料，金属和其他复合型材料工件的测量。



中图仪器白光干涉仪设备supervieww1双通道气浮隔振系统设计，既可以接入客户现场的稳定气源也可以采用便携加压装置直接加压充气，在无外接气源的条件下也可稳定工作，可以有效隔绝地面传导的振动，同时内部隔振系统能够有效隔绝声波振动。



     本公司主营： 影像测量仪 - 一键式测量仪 - 轮廓测量仪 - 激光干涉仪 - 测长仪
     本文链接：https://woqel7276.zhaoshang100.com/gongying/157806648.html
     联系我们时请一定说明是在100招商网上看到的此信息，谢谢！
     联系电话：18928463988，0755-83318988，欢迎您的来电咨询！